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自动物料搬运系统AMHS

关注

  • 领域：工具软件

    平台：不详 坐标：上海市

    官网：不详

  • 成立时间：2014-10-31

    运营状态：不详

项目介绍

自动物料搬运系统Automated Material Handling System，是影响半导体晶圆厂中物料运转产能绩效和晶圆品质的关键系统。产品包括传送设备：天车OHT,协作式机器人MR、存储设备：Foup/Pod/Reticle Stocker,Reticle Cabinet,NTB,OHB，净化设备：TLP,FPS等10多个AMHS硬件设备及MCS调度软件。

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李柯娴

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